ANNEALING TEMPERATURE EFFECTS ON SURFACE MORPHOLOGY AND OPTICAL PROPERTIES OF IGZO THIN FILMS PRODUCED BY THERMAL EVAPORATION

Authors : Atilgan Altinkök, Murat Olutaş

Pages : 25-44

View : 11 | Download : 7

Publication Date : 2020-04-29

Article Type : Research

Abstract :Saydam İletken Oksit (TCO) ince filmlerin teknolojide kullanımı son yıllarda artmıştır. Bu malzemeler aynı anda iyi bir elektrik iletkenliğine ve görünür ışık geçirgenliğine sahiptir. TCO'lar, ince film dönüştürücüler (TFT'ler), iletken elektrotlar, kapasitörler, sensörler, elektrokimyasal cihazlar gibi birçok teknoloji uygulamasında kullanılmaktadırlar. İndiyum kalay oksit (ITO) bu malzemeler arasında en yaygın kullanılan malzeme olmasına rağmen, daha iyi elektriksel özelliklere (elektron hareketliliği µFE>10 cm 2 /V.s) cm 2 / Vs) sahip olan N tipi indiyum-galyum-çinko oksit (IGZO) üzerinde yapılan çalışmalar günümüzde önem kazanmıştır. Bu çalışmada, cam alttaş üzerinde termal buharlaştırma sistemi kullanılarak yüksek vakum altında oda sıcaklığında çok homojen bir amorf yapıya sahip IGZO ince filmler üretilmiştir. Üretilen IGZO ince filmlerin yapısal karakterizasyonu ise Atomik kuvvet mikroskobu ve taramalı elektron mikroskobu kullanılarak  çeşitli kalınlık ve tavlama sıcaklıkları için gerçekleştirilmiştir. Geçirgenlik ve kalınlık ölçümleri ise optik özelliklerin araştırılması için sırasıyla UV-VIS spektroskopisi ve profilometre kullanılarak yapılmıştır. Tavlama sıcaklığı arttıkça tanecik boyutunun büyüdüğü ve tane sınırlarının azaldığı görülmektedir. Bu durum, pürüzlülüğün azalmasına ve optik geçirgenliğin ve enerji boşluğunun (E g ) artmasına neden olmaktadır.
Keywords : IGZO, AFM, İnce Film, Band Enerjisi