Coating TiO2 Film Using the Spin Method of AISI 304 Stainless Steel and Investigation of the Structural Properties

Authors : Hatice Varol Özkavak, Hatice Asil Uğurlu

Pages : 97-102

Doi:10.46460/ijiea.1070575

View : 23 | Download : 5

Publication Date : 2022-06-28

Article Type : Research

Abstract :Bu çalışmada iyi pasiflik, düşük iletkenlik ve iyi tribolojik özelliklere sahip TiO2 seramik oksit filmi sol jel spin kaplama yöntemi ile paslanmaz çelik (AISI 304) malzemesi kaplanmıştır. Kaplanan TiO2 filmlerin yapısına tavlama sıcaklığı ve süresinin etkisi incelenmiştir. Kaplama işlemi için Ethyl acetoacetate (EAcAc), etanol ve titanium kaynağı olarak Tetra-n-butyl orthotitanate (TBT) kullanılmıştır. TiO2 ince film kaplama işleminde spin döndürme hızı olarak 2600 devir/dakika seçilmiştir. Tavlama süresinin ve sıcaklığının kaplama yapısına etkisini incelemek amacıyla 1 ve 1,5 saat işlem sürelerinde ve 500 °C, 600 °C, 700 °C işlem sıcaklıklarında tavlama uygulanmıştır. Yapılan kaplamaların yapısal özellikleri XRD ve SEM analizleri ile incelenmiştir. Yapılan analizlere göre elde edilen piklerin anataz ve rutile fazında olduğu belirlenmiştir. XRD sonuçları incelendiğinde bütün sıcaklıklarda ve sürelerde baskın pikin Rutile (210) fazı olduğu görülmüştür. Ayrıca XRD analizlerinden R(210) fazı için kristal boyutu (D), dislokasyon yoğunluğu (δ) ve gerinim (ε) gibi parametreler belirlenmiştir. Çalışma sonrasında tavlama sıcaklığının ve süresinin yüzey morfolojisini değiştirdiği SEM analizleri belirlenmiştir.
Keywords : İnce Film, Spin Kaplama, Tavlama sıcaklığı, Tavlama süresi, TiO2.