Ultrasonik Sprey Piroliz ile Üretilen ZnO İnce Filmlerin Alttaş Sıcaklıklarının Yapısal ve Optik Özelliklerine Etkisi

Authors : Murat Koç

Pages : 169-178

Doi:10.29233/sdufeffd.911477

View : 24 | Download : 9

Publication Date : 2021-05-27

Article Type : Research

Abstract :Bu çalışmada, ZnO ince filmler; 350, 400 ve 450 °C üç farklı sıcaklıktaki alttaşa ultrasonik sprey piroliz yöntemi ile biriktirilmiştir. ZnO ince film üretiminde çinko kaynağı olarak çinko asetat dihidrat (Zn(CH 3 COO) 2 .2H 2 O) kullanılmıştır. Yapılan XRD analizleri, ZnO ince filmlerin, nano boyutta hekzagonal yapıda ve baskın pik pozisyonunun (100) düzleminde olduğunu doğrulamıştır. Kristal tane boyutu Debye-Scherrer formülü kullanılarak hesaplanmış ve 324.7-442.3 Å aralığında bulunmuştur. SEM yüzey görüntüleri incelendiğinde ZnO ince filmlerin homojen bir şekilde kaplandığı ve SEM kesit görüntülerinden kalınlıkların ~251-286 nm aralığında değiştiği görülmektedir. Filmlerin yüzey pürüzlülüğü AFM ile incelenmiş ve yüzey pürüzlülük değerleri 23.00-43.44 nm aralığında elde edilmiştir. ZnO ince filmlerin UV spektrumlarından, optik geçirgenlikleri %80' in üzerinde bulunurken, yasak enerji aralıkları 3.13-3.26 eV olarak bulunmuştur.
Keywords : Ultrasonik sprey piroliz, ZnO, Yüzey morfolojisi, Alttaş sıcaklığı, Optik özellikler