- Niğde Ömer Halisdemir Üniversitesi Mühendislik Bilimleri Dergisi
- Vol: 6 Issue: 2
- İNDİRGENMİŞ GRAFEN OKSİT ARAYÜZEY TABAKALI METAL OKSİT YARIİLETKEN KAPASİTÖRÜN DİELEKTRİK ÖZELLİKLER...
İNDİRGENMİŞ GRAFEN OKSİT ARAYÜZEY TABAKALI METAL OKSİT YARIİLETKEN KAPASİTÖRÜN DİELEKTRİK ÖZELLİKLERİNİN BELİRLENMESİ
Authors : Ibrahim Karteri
Pages : 387-393
Doi:10.28948/ngumuh.341185
View : 6 | Download : 2
Publication Date : 2017-07-31
Article Type : Research
Abstract : Bu çalışmada, İndirgenmiş Grafen Oksit (RGO) arayüzey oksit tabakalı Au/RGO/p-Si metal-oksit-yarıiletken (MOS) kapasitörün dielektrik özelliklerinin frekans bağımlılığı 200, 300, 500 ve 700 kHz frekanslarda deneysel kapasitans-voltaj (C-V) ve iletkenlik-voltaj (G/w-V) ölçümleri alınarak incelendi. Ayrıca MOS kapasitörün dielektrik sabiti ( ε '), dielektrik kayıp ( ε "), dielektrik kayıp açısı (tan δ ), ac elektrik iletkenlik ( σ ac ), reel ve imajiner elektrik modülü ( Μ ' ve Μ ") değerleri 10 kHz-1 MHz frekans aralığında belirlendi. Elde edilen sonuçlar dielektrik parametrelerin frekansa bağımlı olduğunu açık bir şekilde göstermektedir. ε' ve ε'' artan frekansla azalmaktadır. σ ac , Μ ' ve Μ " değerleri ise artan frekans ile artmaktadır.Keywords : RGO, MOS kapasitör, kapasitans ve iletkenlik ölçümleri, dielektrik özellikler