- Gazi Üniversitesi Fen Fakültesi Dergisi
- Vol: 2 Issue: 1
- MoO3 Arayüzey Tabakalı Metal/Yarıiletken Yapısının Düşük Frekans Değerleri için Dielektrik Özellikle...
MoO3 Arayüzey Tabakalı Metal/Yarıiletken Yapısının Düşük Frekans Değerleri için Dielektrik Özelliklerinin İncelenmesi
Authors : Yunus Özen, Halil Ibrahim Efkere, Tarik Asar, Süleyman Özçelik
Pages : 24-33
Doi:10.5281/zenodo.4843216
View : 25 | Download : 7
Publication Date : 2021-05-01
Article Type : Research
Abstract :Bu çalışmada, Molibden trioksit (MoO3) ara tabakalı Au/n-GaAs yapısının dielektrik özellikleri 0-4 V aralığında 0.25 V adımlarla düşük frekanslar için incelendi. MoO3 ince filmi radyo frekansı (RF) magnetron püskürtme yöntemi kullanılarak n-tipi GaAs alttaş üzerine biriktirildi. Au/MoO3/n-GaAs yapısının oda sıcaklığında 10, 20, 30, 50, 70 ve 100 kHz frekanslarında, kapasitans–voltaj (C–V) ve kondüktans–voltaj (G/–V) ölçümleri yapıldı. Bu ölçüm sonucunda C ve G dataları kullanılarak Au/MoO3/n-GaAs yapısının dielektrik parametreleri belirlendi. Dielektrik sabiti (Keywords : Au/MoO3/n-GaAs yapısı, C-V ve G/w-V ölçümleri, Düşük frekans analizi, Dielektrik parametreler