- Erciyes Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi
- Vol: 37 Issue: 1
- Fabrication and Characterization of Polyaniline/ZnO Nanocomposite Field Effect Transistor Based Hydr...
Fabrication and Characterization of Polyaniline/ZnO Nanocomposite Field Effect Transistor Based Hydrogen Gas Sensor
Authors : Mucella Özbay Karakuş, Hidayet Çetin
Pages : 99-109
View : 14 | Download : 3
Publication Date : 2021-04-28
Article Type : Research
Abstract :Bu çalışmada, mikron-boyutlu alan etkili transistör sensörler polianilin kanallar kullanılarak üretildi. ZnO nanoparçacık katkılı ve katkısız Polianilin (PANI) sentezlenmiştir. Sentezlenen her iki PANI kullanılarak gaz algılama uygulaması için mikrofabrikasyon yöntemiyle mikron boyutlu, alan etkili transistör (FET) yapıda sensörler üretilmiştir. FET üretimi optik litografi yöntemiyle Si/SiO2 (285 nm) alttaş üzerine PANI ve PANI/ZnO kanal yapıların üretilmesiyle gerçekleştirilmiştir. Üretilen sensörlerin hidrojen (H2) gazına karşı gösterdiği elektriksel tepkiler, 25 ˚C, 50 ˚C ve 80 ˚C sıcaklıkta transistöre +20 V kapı gerilimi uygulanırken, kaynak-akaç akımı değişimleri ölçülerek belirlenmiştir. PANI kanal ile üretilen sensörlerin H2 gazını algıladığı ancak PANI içerisine ZnO nanokompozit katkılamanın algılama performansını iyileştirdiği gözlemlenmiştir. Ayrıca PANI kanallı FET sensörün aksine PANI/ZnO kanallı FET sensörlerin oda sıcaklığında oldukça iyi bir performansla çalıştığı tespit edilmiştir.Keywords : Gaz Dedektörleri, FET Sensör Sistemleri, İnce Film H2 Sensörleri