- Afyon Kocatepe Üniversitesi Fen Ve Mühendislik Bilimleri Dergisi
- Vol: 14 Issue: 3
- Ru Katkısının Yarıiletken Kalay Oksit Filmlerin Elektriksel ve Nem Sensörü Özelliklerine Etkisi...
Ru Katkısının Yarıiletken Kalay Oksit Filmlerin Elektriksel ve Nem Sensörü Özelliklerine Etkisi
Authors : Ömer Mermer, Mustafa Erol, Murat Bektaş, Erdal Çelik
Pages : 129-133
View : 27 | Download : 8
Publication Date : 2014-12-01
Article Type : Other
Abstract :Bu çalışmada nem sensörü uygulaması için saf ve Ru katkılı SnO2 ince filmler Si ve cam altlıklar üzerine sol-jel yöntemi kullanılarak kaplanmıştır. Kalay ve rutenyum tabanlı prekursorlar kullanılarak şeffaf çözeltiler hazırlanmıştır. Bu çözeltilerle Si (100) ve cam altlıklar üzerine döndürerek kaplama tekniği kullanılarak ince ve homojen dağılımlı filmler kaplanmıştır. Elde edilen filmler 600oC’de 1 saat fırınlandıktan sonra SnO2 tabanlı filmler elde edilmiştir. Üretilen filmlerin yapısal ve elektriksel karakterizasyonu sırasıyla XRD, SEM, kaynak-metre sistemleri kullanılarak yapılmıştır. Saf ve Ru katkılı SnO2 ince filmlerin AC ve DC elektriksel iletkenlikleri belirlenmiştir. Nem algılama özellikleri oda sıcaklığında farklı nem değerlerine gore elektriksel direncin değişimi ölçülerek tespit edilmiştir. Elde edilen filmlerin nem yakalama/bırakma kinetikleri ise QCM tekniği kullanılarak ölçülmüş ve analiz edilmiştir. © Afyon Kocatepe ÜniversitesiKeywords : Ru katkı, Kalay oksit, Sol-jel, Nem sensörü