- Bitlis Eren Üniversitesi Fen Bilimleri Dergisi
- Vol: 8 Issue: 3
- PECVD Yöntemi ile Polimerik Hidrojel İnce Filmlerin Üretimi
PECVD Yöntemi ile Polimerik Hidrojel İnce Filmlerin Üretimi
Authors : Mehmet Gürsoy
Pages : 1019-1028
Doi:10.17798/bitlisfen.527902
View : 7 | Download : 4
Publication Date : 2019-09-30
Article Type : Research
Abstract :Bu çalışma ile ilk kez hidrojel özellikteki PHPMA (poli(hidroksipropil metakrilat)) ince filmleri gaz fazı bir yöntem olan plazma destekli kimyasal buhar biriktirme (PECVD) yöntemi ile üretilmiştir. Substrat sıcaklığının, reaktör basıncının ve plazma gücünün, PHPMA ince filmlerinin kaplama hızları üzerine etkileri incelenmiştir. PECVD parametrelerinin, PHPMA ince filmlerinin morfolojileri, kimyasal yapıları ve ıslanabilirlik özellikleri üzerine etkileri açığa çıkarılmıştır. Ayrıca, bu çalışma kapsamında PHPMA ince filmlerinin, kaplama mekanizması ve kinetiği de incelenmiştir. En yüksek kaplama hızı (120,2 nm/dk) 20 ° C substrat sıcaklığında, 250 mtorr reaktör basıncında ve 20 W plazma gücündeelde edilmiştir. PHPMA kaplamasının aktivasyon enerjisi -22,16 kJ/mol olarak bulunmuştur.Keywords : CVD, PHPMA, Hidrojel, İnce film