- Süleyman Demirel Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi
- Vol: 27 Issue: 2
- DC Saçtırma Metoduyla Üretilmiş Çift Katmanlı Mo İnce Filmlerin Yarı Kantitatif Doku Analizinin Yapı...
DC Saçtırma Metoduyla Üretilmiş Çift Katmanlı Mo İnce Filmlerin Yarı Kantitatif Doku Analizinin Yapılması ve Kutup Figürlerinin Araştırılması
Authors : Celal Alp Yavru, Murat Kaleli
Pages : 191-196
Doi:10.19113/sdufenbed.1117506
View : 51 | Download : 37
Publication Date : 2023-08-25
Article Type : Research Article
Abstract :Molibden (Mo) malzemesi benzersiz özellikleri sayesinde birçok farklı alanda kullanılmaktadır. İnce filmlerin doku analizleri sayesinde katmanlar arası arayüz durumlarının uyumluluğu araştırılmaktadır. Üretim parametrelerine ve sonrasında yapılan işlemlere göre filmlerin dokuları değişebilmektedir. Bu sebeple kullanım alanına bağlı olarak en uygun dokuya sahip Mo ince filmlerin üretilmesi için ideal üretim parametrelerinin belirlenmesi gerekmektedir. Bu çalışmada, CIGS güneş gözesi uygulamalarında sıklıkla istenen BCC yapısında ve (110) düzlemindeki Mo ince filmler üretilebilmiştir. Üretim, Mo filmin alttaş yüzeyine tutunumunu ve elektriksel iletkenliğini iyileştirmek için çift katmanlı üretim stratejisi kullanılarak gerçekleştirilmiştir. Üretilen filmlerin SEM, AFM ve XRD sistemleri ile yüzey, topoğrafya ve yapı analizleri gerçekleştirilmiş ayrıca yarı kantitatif doku analizleri yapılarak kutup figürleri elde edilmiştir. Topoğrafik ve detaylı yapısal analiz sonuçları birbirleri ile ve literatürde var olan diğer çalışmalar ile kıyaslandığında bu çalışmada ortaya koyulan üretim parametrelerinin kullanılabilirliği gösterilmiştir.Keywords : İnce film, molibden, doku analizi, kutup figürleri, xrd