- Politeknik Dergisi
- Vol: 19 Issue: 3
- Atomik Tabaka Biriktirme Metodu ile Üretilen HfO2 Tabanlı Sensörlerin Hidrojen Gaz Algılama Özellikl...
Atomik Tabaka Biriktirme Metodu ile Üretilen HfO2 Tabanlı Sensörlerin Hidrojen Gaz Algılama Özelliklerinin İncelenmesi
Authors : Irmak Karaduman, Özlem Barin, Dilber Esra Yildiz, Selim Acar
Pages : 223-229
View : 18 | Download : 2
Publication Date : 2016-09-01
Article Type : Research
Abstract :Fosil yakıtların yakın gelecekte tükenecek olmaları ve çevreye CO2 gibi zararlı atıklar bırakmaları temiz, güvenilir ve geleceğin enerji kaynağı olan H2 gazının çok geniş ve değişik alanlarda kullanılmasının önünü açmıştır. Bu durum uygulama alanlarının hızla genişlemesine ve araştırmacıların H2 gaz sensörü üzerine yoğunlaşmasına neden olmuştur.Bu çalışmada p-Si yarıiletken üzerine Atomik Tabaka Biriktirme (ALD) yöntemi ile HfO2 ince film büyütülerek HfO2/p-Si yapı oluşturuldu. Üretilen numunenin farklı sıcaklıklarda (30°C-180°C) ve farklı gaz konsantrasyonlarında (1000ppm-4000ppm) zamana bağlı olarak hidrojen gazı için algılama özellikleri incelendi. Yapılan ölçümler sonucunda üretilen HfO2/p-Si ince filmlerin düşük sıcaklık hidrojen gaz sensörü olarak kullanılabileceği görüldü.Keywords : Gaz Sensör, ALD, Hidrojen