Al/Al2o3/P-Si Yapısının Co Gaz Algılama Özellikleri
Authors : Irmak KARADUMAN, Nevin DEMİREL, Dilber Esra YILDIZ, Selim ACAR
Pages : 79-84
View : 10 | Download : 4
Publication Date : 2015-06-01
Article Type : Research
Abstract :Bu çalışmada Al/Al2O3/p-Si yapısının gaz algılama özellikleri incelenmiştir. Al2O3 metal oksit yapısı atomik tabaka biriktirme (ALD) metoduyla üretilmiştir. Üretilen yapının farklı sıcaklıklar (300-450K) ve farklı CO gaz konsantrasyonlarında (50-2000 ppm) gaz algılama özellikleri incelenmiştir. Artan sıcaklık ve gaz konsantrasyonuyla duyarlılıklarda artış gözlenmiştir. Elde edilen grafikler göstermektedir ki gaz molekülleri ile numune yüzeyi arasında yük alışverişine dayalı bir etkileşme vardır. Ayrıca tepki ve geri dönüş süreleri sırasıyla 11 ve 16 s olarak hesaplandı.Keywords : Gaz Sensör, Metal Oksit Yarıiletken, CO